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萬萬沒想到,飛行時間二次離子質譜儀竟有這樣的優勢!

發布時間:2020-12-07   點擊次數:449次
  飛行時間二次離子質譜儀是一種既能測試有機物,又能測試無機物的一種檢測儀器,使用一次的離子源(Ga,Cs, O2, etc)轟擊樣品,產生二次離子,激發的二次離子被引入一個無場區(drift tube),自由飛行,飛行時間的長短,與離子的mass-to-charge ratio的二分之一此方成正比;也就是說,質量數越小的離子飛得越快,到達檢測器的時間越短,反之,質量數越大的離子飛得越慢,到達檢測器的時間越長,這樣就可以實現質譜的分離。
 
  飛行時間二次離子質譜儀的技術優勢:
 
  1. 優異的摻雜劑和雜質檢測靈敏度??梢詸z測到ppm或更低的濃度
 
  2. 深度剖析具有良好的檢測限制和深度辨析率
 
  3. 小面積分析(10 µm 或更大)
 
  4. 檢測包含H在內的元素及同位素
 
  5. 優良的動態范圍(6 orders of magnitude)
 
  6. 在某些應用中可能用來做化學計量/組成成份
 
  飛行時間二次離子質譜儀的主要用途:
 
  1. 摻雜劑與雜質的深度剖析
 
  2. 薄膜的成份及雜質測定 (金屬、電介質、鍺化硅 、III-V族、II-V族)
 
  3. 超薄薄膜、淺植入的較高深度辨析率剖析
 
  4. 硅材料整體分析,包含B, C, O,以及N
 
  5. 工藝工具(離子植入)的高精度分析

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