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二次離子質譜儀

簡要描述:EQS 是差式泵式二次離子質譜(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用技術的SIMS 探針,便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室。

  • 產品型號:EQS
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2020-07-31
  • 訪  問  量:1424
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詳細介紹
應用:

· 靜態 /動態SIMS
· 一般目的的表面分析
· 整體的前端離子源,便于RGA和 SNMS
· 兼容的離子槍/ FAB 槍
· 成分/污染物分析
· 深度分析
· 泄漏檢測
· 與Hiden SIMS 工作站兼容

特點:
· 高靈敏度脈沖離子計數檢測器,7個數量級的動態范圍
· SIMS 成像,分辨率在微米以下
· 光柵控制,增強深度分析能力
· 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范圍內,離子行程的zui小擾動,及恒定離子傳輸
· 差式泵3級過濾四極桿,質量數范圍至2500amu
· 靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器
· Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制

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