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高壓殘余氣體分析儀

簡要描述:HIDEN HMT 100-RC 高壓殘余氣體分析儀-四極質譜儀(High Pressure Residual Gas Analyser),獨特的雙重模式RGA系統,檢測已存在的、或生產過程中形成的氣體。針對真空診斷以及過程監測。

  • 產品型號:HMN-RC
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-01-26
  • 訪  問  量:1280
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詳細介紹

HMN-RC高壓殘余氣體分析儀應用:

· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實質上的泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物

HMN-RC高壓殘余氣體分析儀特點:

· HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作(z小壓力4x10-8 Torr)
· 在P < 10-4 Torr時具有高靈敏度的RGA操作模式,z小壓力1x10-11 Torr
· z大質量數100amu,軟件操作。
· 穩定性好(24h之上,高度變化小于±1% )
· MASsoft軟件控制,或由局域網進行多個系統控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描-多個windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數據圖,列表
· 同步背景扣除,自動質量數列表
· 數據輸出為ASCII格式,至windows設備
· 即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如Excel、SPC-IV統計過程控制軟件。 

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