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活潑性/腐蝕性氣體分析儀

簡要描述:HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器??煽焖?、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

  • 產品型號:HPR-80
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-01-26
  • 訪  問  量:1403
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詳細介紹

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用:


• 等離子體/反應性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點:


• 加熱的電拋光波紋管,快速偶合連結器
• 可清除的,帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質量數為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計,壓力檢測可不受分析物影響
• 穩定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演,歸一化及單峰參考

 

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